MEMBER

特令教授　伊藤雅英

光学的手法による微細構造解析
3次元画素解析

客員准教授　松永宗一郎

次世代SEMの開発と新規電子源の研究

特任教授　関口隆史

イノベイティブ計測技術開発研究センター長

SEMの物理学と画像形成技術に関する研究

イノベイティブ計測技術開発研究センター

教授　早田康成

走査電子顕微鏡における電子光学系の研究

教授　山田洋一

表面物理学ナノテクノロジー

佐々木・山田研究室

主幹研究員　片桐創一

高加速電圧に関する研究

教授　末益崇

半導体、磁性体材料、結晶成長

環境半導体・磁性体研究室

教授　小林伸彦

第一原理電子状態計算法を利用したSEMの研究開発

小林研究室

教授　都甲薫

ナノテクノロジーや機械学習を駆使した新規半導体の材料・プロセス研究

環境半導体・磁性体研究室

准教授　蓮沼隆

半導体基板上絶縁膜の信頼性に関する研究

特任准教授　山納康

真空中における高電圧絶縁に関する研究

埼玉大学山納研究室

客員研究員　山本将博

光陰極を用いた高電圧電子源および極高真空に関する研究

KEK compact-ERL加速器

特任助教　小倉暁雄

真空高電圧および機能性セラミックスに関する研究

特任助教　姚遠昭

放電モデル解析・SEMの分解能向上に関する研究

特任助教　鶴田諒平

新規電子源材料の電子放出の研究

研究員　野木広光

材料評価と計測データ解析

客員研究員　村田英一

境界電荷法および境界磁荷法の開発とその応用

客員研究員　片野諭

ナノスケール電子ビームを用いた表面化学計測

名誉教授　佐々木正洋

表面科学, 超音速分子線散乱技術と原子レベルでの固体表面の物性計測

佐々木・山田研究室

事務職員　塔村和子

特別共同研究事業事務担当