MEMBER
教授 伊藤 雅英
光学的手法による微細構造解析
XAFS透過法による微少成分分析
3次元画素解析
応用光学・量子光工学などの物理学の知識と方法により最先端のSEM研究を進め、幅広い視野と柔軟な思考力を持った研究者・技術者の育成を目指します。
教授 早田 康成
走査電子顕微鏡における電子光学系の研究
電子ビーム形成と電子ビーム評価を目的として、電子ビーム間や電子ビームと固体の相互作用、電子ビーム評価用試料の研究などに取り組みます。また、画像処理を取り込んだ新しい電子顕微鏡の提案を目指します。
教授 関口 隆史
SEMの物理学と画像形成技術に関する研究
SEM画像に含まれる物理情報を明らかにすることを目的とし、角度・エネルギー分解による二次電子検出と鏡体内散乱電子の制御に取り組んでいます。実験では、ナノ材料から生体組織まで、広く観察対象としています。
教授 佐々木 正洋
表面科学, 超音速分子線散乱技術と原子レベルでの固体表面の物性計測と制御
室温走査トンネル顕微鏡、超音速分子線錯乱、電界イオン、放射顕微鏡のユニークな基礎表面科学の手法により、ナノ世界の自己組織化現象の物理を基礎的に研究しています。
佐々木・山田研究室
教授 山田 洋一
表面物理学ナノテクノロジー
走査トンネル顕微鏡や超音速分子線散乱法を用いて表面における低次元ナノ構造制御や低次元電子物性計測を行うことにより、表面科学に基づく自己組織化を探求しています。
佐々木・山田研究室
客員准教授 松永宗一郎
次世代SEMの開発と新規電子源の研究
SEMのキーコンポーネントである電子銃の研究をベースに、SEMの応用可能性の拡大を目指します。
電子源の性能を精密かつ公平に評価する技術の確立を推進し、新電子源の基礎研究からSEMへの搭載をシームレスにつなぎます。
主幹研究員 片桐 創一
高加速電圧に関する研究
SEMの分解能向上には高加速電圧化が手段のひとつとなりますが、放電の物理現象は未解明であり、体系的な理解が望まれています。極高真空下における電極や誘電体の表面状態、電界、電子、ガス分子の挙動を精査して放電モデルの解明に取組みます。
准教授 山納 康
真空中における高電圧絶縁に関する研究
SEMにおける高電圧技術および絶縁技術に関する研究を行っています。 特に、真空放電および真空絶縁の基礎研究に取り組んでいます。＜筑波大-埼玉大クロスアポイントメント＞
埼玉大学山納研究室
准教授 山本 将博
光陰極を用いた高電圧電子源および極高真空に関する研究
高輝度電子ビーム発生のための高電圧・高電界化に求められる真空絶縁技術、および電子源の長寿命化に必要となる真空環境の改善に関する研究に取り組んでいます。＜筑波大-KEKクロスアポイントメント＞
KEK compact-ERL加速器
准教授 蓮沼 隆
半導体基板上絶縁膜の信頼性に関する研究
ナノスケールデバイスへの応用を目指した半導体基板上絶縁膜及び金属配線材料の高信頼性設計技術の概念に基づく基礎研究に取り組んでいます。
助教 鶴田 諒平
新規電子源材料の電子放出の研究
電界放射顕微鏡や電界イオン顕微鏡をはじめとする様々な表面科学の手法を用いて表面構造や表面電子状態を計測することで新電子源材料の研究をしています。
助教 姚 遠昭
放電モデル解析・SEMの分解能向上に関する研究
放電モデル解明、電子ビーム、二次電子などの解析を行ってSEMの分解能向上のための研究に貢献します。
助教 小倉 暁雄
高加速電圧に関する研究
極高真空下における電極や誘電体の表面状態、電界、電子、ガス分子の挙動を精査して放電モデルの解明に取組みます。
研究員 野木 広光
材料評価と計測データ解析
材料評価と計測データ収集・解析によりSEMの基盤技術の向上に取り組んでいます。