PUBLICATIONS

論文

2023

A novel design of a retarding field electron energy analyzer with a cavity electrode providing extremely high energy resolution
Kazuhiro Honda, Hiroyuki Ito, Souichi Katagiri, Masahiro Sasaki
J. Vac. Sci. Technol. B, 41, 4, 44006, 2023

2020

走査電子顕微鏡用電子源の特性
早田康成
表面と真空, 63, 1号, 25-29, 2020

国際会議

2023

Feasibility of Higher Electron Gun Voltage and Higher Electric Field by Suppressing Electron Stimulated Desorption from the Anode
Masahiro Yamamoto, Yamano Yasushi, Souichi Katagiri, Nanami Morioka, Takashi Sekiguchi, Itoh Masahide
the Vacuum Society of Japan, The 30th International Symposium on Discharge and Electrical Insulation in Vacuum (Naha, Japan)
 
Study on dielectric breakdown in vacuum of TiZrV coated electrode
Nanami Morioka, Yasushi Yamano, Masahiro Yamamoto, Souichi Katagiri 
the Vacuum Society of Japan, The 30th International Symposium on Discharge and Electrical Insulation in Vacuum (Naha, Japan)
 
Relaxation of electric field by covering cathode-edge with vanadate glass
Souichi Katagiri, Tatsuya Miyake, Takashi Naito, Hiroshi Morita, Yasushi Yamano
the Vacuum Society of Japan, The 30th International Symposium on Discharge and Electrical Insulation in Vacuum (Naha, Japan)
 
Characterization of secondary electron detector in normal and low vacuum SEM
Yuanzhao Yao, Ryosuke Sonoda, Yasunari Sohda, Takashi Sekiguchi 
次世代真空エレクトロニクス研究会, 筑波大学 イノベイティブ計測技術開発研究センター, The 14th International Vacuum Electron Sources Conference (Tsukuba, Japan)
 
Evaluation of the sheet resistance and surface charge of a TiO2-coated alumina insulator
Akio Ogura, Souichi Katagiri, Yao Yuanchao, Hiromitsu Nogi, Ryu Hasunuma
次世代真空エレクトロニクス研究会, 筑波大学 イノベイティブ計測技術開発研究センター, The 14th International Vacuum Electron Sources Conference (Tsukuba, Japan)

2022

Evaluation of the detection property of an angle selective fountain electron detector
Sekigushi Takashi, Ryosuke Sonoda, Sohma Ogawa,  Ryota Mitani, Kazuhiro Kumagai
DRIP XIX and Processing and Characterization of Crystal, The 19th International Conference on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (Online)

2019

Low Vacuum Scanning Electron Microscopy for Widegap Semiconductors and Insulating Materials
Takashi Sekiguchi
DRIP XVIII and Processing and Characterization of Crystal, International Conference on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XVIII) (Berlin, Germany)
 
Energy and Angle Resolved Secondary Electron Imaging Using Plain Fountain Detector
Takashi Sekiguchi, Toshihide Agemura, Hideo Iwai
Surface Analysis Society of Japan, the 8th International Symposium on Practical Surface Analysis (Sapppro, Japan)

2018

Application of inverted fountain detector for downward secondary electron emitted from nanosheets in SEM
Takashi Sekiguchi
IFSM, 19th International Microscopy Congress (Sydney, Australia)

国内会議

2024

TiO2薄膜コーティングしたアルミナ表面の帯電評価
小倉 暁雄、Yao. Yuanzhao、野木 広光、蓮沼 隆、片桐 創一
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会（2024/3/22-3/25 東京都世田谷区）

酸素暴露によるCeB6表面の仕事関数変化
鶴田 諒平、柳 俊輔、荒井 元哉、大場 宏祐、佐々木正洋、山田 洋一
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会（2024/3/22-3/25 東京都世田谷区）

熱酸化による六ホウ化セリウム電界放出電子源の安定化
柳 俊輔、鶴田 諒平、荒井 元哉、大場 宏祐、佐々木正洋、山田 洋一
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会（2024/3/22-3/25 東京都世田谷区）

金属酸化物薄膜を有したアルミナ表面の帯電評価
小倉暁雄、Yao. Yuanzhao、野木 広光、蓮沼 隆、片桐 創一
令和6年電気学会全国大会（2024/3/14-3/16 徳島県徳島市）

電子線照射によるSiO2/Si界面欠陥生成
“Electron beam induced defect formation at SiO2/Si interface”
清水 崚央、早田 康成、蓮沼 隆
第29回 電子デバイス界面テクノロジー研究会（2024/2/1-2/2 静岡県三島市）

2023

低真空SE検出器（UVD）のアクセプタンス評価ーUVDとET検出器の違い
姚 遠昭, 園田 涼輔, 早田 康成, 関口 隆史
日本顕微鏡学会SEMの物理学分科会討論会（2023/12/10-12/11 福井県あわら市）

電子線照射によるデバイスダメージの評価
清水凛太郎, （蓮沼研）
応用物理学会 薄膜・表面物理分科会およびシリコンテクノロジー分科会共催, 電子デバイス界面テクノロジー研究会 (静岡県三島市)

TiN膜付アルミナ碍子の耐電圧特性の向上に関する研究
角谷 凌太郎, 小倉 暁雄, 野木 広光, 姚 遠昭, 片桐 創一
応用物理学会, 応用物理学会第７０回春季学術講演会 (東京都千代田区)

SEMにおける斜出射二次電子・反射電子検出の特徴
関口 隆史, 園田 涼輔, 姚 遠昭, 早田 康成
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第７9回学術講演会 (島根県松江市)

暗視野STEM法によるコリネ菌中のFe分布の観察
小嶋俊平
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第７9回学術講演会 (島根県松江市)

3分割噴水型二次電子検出器によるSiC表面の段差構造評価
小川創馬, 関口 隆史, 熊谷和博
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第７9回学術講演会 (島根県松江市)

低真空SEMが拓く顕微鏡の世界
関口隆史
日本表面真空学会, 日本表面真空学会真空技術部会6月研究例会 (東京都港区)

線形代数とSEMー電子検出器のアクセプタンスについて
関口隆史
表面分析研究会, 第60回表面分析研究会 (神奈川県川崎市)

2022

CeB6単結晶表面の電子状態評価
鶴田 諒平
応用物理学会, 第83回応用物理学会秋季学術講演会 (宮城県仙台市)

金属球を使ったアウトレンズ検出器の特性評価
園田 涼輔, 三谷 亮太, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第７８回学術講演会 (福島県郡山市)

低真空SEMを使った液体の観察
源入 健太, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第７８回学術講演会 (福島県郡山市)

チタニアナノシートを使った生体SEM観察のための簡易コーティング法
友寄 大地, 佐々木 高義, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第７８回学術講演会 (福島県郡山市)

SEMを使った明視野・暗視野STEM法によるコリネ菌の観察
関口 隆史, 鈴木 千紘, 早田 康成, 川島 花雪, 永久保 利紀, 豊福 雅典, 野村 暢彦
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第７８回学術講演会 (福島県郡山市)

2021

アモルファス炭素被覆による球面電子源の開発
鶴田 諒平, 日向 雄介, 古澤 怜也, 佐々木 正洋, 松永 宗一郎, 山田 洋一
応用物理学会, 応用物理学会第82回秋季学術講演会 (オンライン)

各種検出器による枯草菌の観察
鈴木 千紘, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第77回学術講演会 (茨城県つくば市)

試料帯電が反射電子像に与える影響の評価－ハレーション
園田 涼輔, 早田 康成, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第77回学術講演会 (茨城県つくば市)

走査電子顕微鏡における帯電現象と二次電子放出の関係
田上 就也, 早田 康成, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第77回学術講演会 (茨城県つくば市)

低真空SEMによるミセルの観察
源入 健太, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第77回学術講演会 (茨城県つくば市)

2020

低真空SEM観察における雰囲気依存性の定量的評価
田上 就也, 関口 隆史
顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会 第76回学術講演会 (大阪府大阪市)

走査電子顕微鏡における帯電現象と二次電子放出の関係
田上 就也, 早田 康成, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, SEMの物理学分科会研究会 (オンライン)

陽極へのNEG コーティングによる真空放電抑制の検証実験
多田涼馬, 片桐創一, 伊藤雅英, 山本将博, 山納康, 谷本育律, 宮島司, 東直, 金秀光, 内山隆司
日本表面真空学会, 2020年日本表面真空学会学術講演会 (オンライン)

2019

低真空SEMの雰囲気依存性
関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会 第75回学術講演会 (愛知県名古屋市)

走査電子顕微鏡用電子源
早田 康成, 大南 祐介
表面真空の研究会, 日本表面真空学会 6 月研究例会 (宮城県仙台市)

2018

倒立型噴水検出器の改良とナノシートの低エネルギー透過電子評価
関口 隆史, 揚村 寿英, 姚 遠昭
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会 第74回学術講演会 (福岡県久留米市)