2019年度応用物理特論「走査電子顕微鏡を使った計測技術の開発、電子光学や電子ビームと物質の相互作用の研究」

日 時:10月1日(火)10:10~11:25 場所: 3A203 応用理特論(FF22001)において、走査電子顕微鏡研究室(関口・早田研究室)の研究内容について講義を行いました。 ・走査電子顕微鏡(SEM)の基礎と応用。 ・電子と物質の相互作用や二次電子、反射電子の物理の研究を行い、電子ビームによる新たな計測技術を開拓する。 ・電子光学系や電子ビーム計測の研究を行い、SEMの高度化や新システムの提案を進める。
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電子光学シミュレーションセミナー(数理物質科学コロキュウム)

題目: 電子光学シミュレーションとMEBS社ソフトウエアの紹介 講 師:Dr. Munro(MEBS社 社長) 日 時:5月30日(木)13:00~14:30 場所:筑波大学 プロジェクト研究棟102室 MEBS社 Munro社長による電子光学シミュレーションセミナーを開催しました。 現在導入しているMEBS社ソフトウェアの様々な活用方法についても紹介があり、有意義かつアットホームなセミナーとなりました。    
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走査電子顕微鏡の世界(数理物質科学コロキュウム)

題目:走査電子顕微鏡の世界 講 師: 関 口 隆 史 教授・ 早 田 康 成 教授(電子・物理工学専攻) 日 時:4月18日(木)16:45~18:00(6時限) 場所:筑波大学 第1エリア 1H201 走査電子顕微鏡(SEM)の基礎からSEMを用いた様々な応用観察例を解説。 アドバンストSEM研究室が取り組むSEMを使った最先端の半導体研究を紹介しました。        
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2019年度第2回数理物質科学コロキュウム

2019年度第2回数理物質科学コロキュウム 課 題:走査電子顕微鏡の世界 講 師: 関 口 隆 史 ・ 早 田 康 成 (電子・物理工学専攻) 日 時:4月18日(木)16:45~18:00(6時限) 場 所:1H201 【講演要旨】 形態観察は、実験の第一段階として必須の作業である。ナノの研究が盛んになり、サブ ミクロンの材料を観察する必要が生じたため、走査電子顕微鏡(SEM)は、光学顕微鏡(OM) の代替としての役割を果たすようになる。ただ、SEM とOM の原理はまったく違うと言 ってよい。SEM を例えればTV システムであり、nm オーダーに絞った電子ビームを試料 上で走査し、出力された二次電子(SE)や反射電子(BSE)を使って画面上に像を作る。 これらの信号は、試料の凹凸や組成、導電性によって変化するため、SEM 観察では形状だ けでなく、組成分析などもできる。また、観察対象も金属、半導体、セラミックスといっ た無機材料から、高分子、生体組織など多岐にわたる。 本講演では、SEM を用いたさまざまな観察例を紹介するとともに、我々が取り組んでい るSEM を使った最先端の半...
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電子・物理工学専攻公開セミナー「真空中における高電圧絶縁について」埼玉大 山納 康

講師:埼玉大学 情報メディア基盤センター 准教授 山納 康 先生 日時:H31年1月8日(火) 16:30〜17:30 場所:工学系F棟8階 F800会議室 題目:真空中における高電圧絶縁について Abstract_Yamano20190108        
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電子・物理工学専攻公開セミナー「500kV光陰極電子源の開発から見えた真空放電現象の新解釈」KEK 山本将博

講師:高エネルギー加速器研究機構 助教 山本将博先生 日時:H31年1月8日(火) 15:30〜16:30 場所:工学系F棟8階 F800会議室 題目:500kV光陰極電子源の開発から見えた真空放電現象の新解釈 Abstract_Yamamoto20190108      
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安達洋先生セミナー

安達洋先生との意見交換会  2018/7/26 講師:室蘭工大名誉教授 安達洋先生 日時:H30年 7月26日 (木)       第一部 (基礎編)10:00〜12:00       第二部 (実践編)14:00〜16:00 場所:筑波大学第3エリア 3F720 会議室 ショットキーエミッタの専門家でいらっしゃる安達洋先生をお迎えして意見交換会を行いました。 第一部:基礎編として、ショットキーエミッタの基礎のレクチャを含む議論を行い、第二部:実践編として実践的な議論を行いました。
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電子・物理工学セミナー「超高真空における電子刺激脱離と直流放電現象の関係」KEK 山本将博

電子・物理工学専攻セミナー 2018/6/8   講師:高エネルギー加速器研究機構 山本将博先生 日時:H30年6月8日(金) 15時30分〜 場所:工学系F棟8階 F800会議室 題目:超高真空における電子刺激脱離と直流放電現象の関係 概要: High brightness electron source is a key device to realize future accelerators such as high repetition rate X-FEL and high luminosity of the electron-ion collider. DC-gun is one of the leading candidates, and a long time to stable operation with a high voltage and high field condition is required. In order to hold a high voltage equivalent several hundreds kilo-volt, hi...
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