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特任教授 伊藤 雅英

イノベイティブ計測技術開発研究センター長

光学的手法による微細構造解析
3次元画素解析

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客員准教授 松永宗一郎

次世代SEMの開発と新規電子源の研究

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特任教授 関口 隆史

SEMの物理学と画像形成技術に関する研究
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教授 早田 康成

走査電子顕微鏡における電子光学系の研究
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教授 山田 洋一

表面物理学ナノテクノロジー

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主幹研究員 片桐 創一

高加速電圧に関する研究
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表面科学, 超音速分子線散乱技術と原子レベルでの固体表面の物性計測

名誉教授 佐々木 正洋

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教授 小林 伸彦

第一原理電子状態計算法を利用したSEMの研究開発
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教授 都甲 薫

ナノテクノロジーや機械学習を駆使した新規半導体の材料・プロセス研究
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准教授 蓮沼 隆

半導体基板上絶縁膜の信頼性に関する研究
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特任准教授 山納 康

真空中における高電圧絶縁に関する研究
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光陰極を用いた高電圧電子源および極高真空に関する研究

客員研究員 山本 将博

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特任助教 小倉 暁雄

真空高電圧および機能性セラミックスに関する研究
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特任助教 姚 遠昭

放電モデル解析・SEMの分解能向上に関する研究
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特任助教 鶴田 諒平

新規電子源材料の電子放出の研究
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特任助教 石山 隆光

マテリアルズ・インフォマティクスを活用した計測技術の創生、評価
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客員研究員 村田 英一

境界電荷法および境界磁荷法の開発とその応用
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客員研究員 片野 諭

ナノスケール電子ビームを用いた表面化学計測
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研究員 野木 広光

材料評価と計測データ解析
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事務職員 塔村 和子

特別共同研究事業事務担当