MEMBER

客員准教授 松永宗一郎
次世代SEMの開発と新規電子源の研究

特任教授 関口 隆史
SEMの物理学と画像形成技術に関する研究

教授 早田 康成
走査電子顕微鏡における電子光学系の研究

准教授 蓮沼 隆
半導体基板上絶縁膜の信頼性に関する研究

特任助教 小倉 暁雄
極高真空下における放電モデルの解明

特任助教 姚 遠昭
放電モデル解析・SEMの分解能向上に関する研究

特任助教 鶴田 諒平
新規電子源材料の電子放出の研究

特任助教 石山 隆光
マテリアルズ・インフォマティクスを活用した計測技術の創生、評価

客員研究員 村田 英一
境界電荷法および境界磁荷法の開発とその応用

客員研究員 片野 諭
ナノスケール電子ビームを用いた表面化学計測

研究員 野木 広光
材料評価と計測データ解析