PUBLICATIONS
論文
FY2023
A novel design of a retarding field electron energy analyzer with a cavity electrode providing extremely high energy resolution
Kazuhiro Honda, Hiroyuki Ito, Souichi Katagiri, Masahiro Sasaki
J. Vac. Sci. Technol. B, 41, 4, 44006, 2023
FY2020
走査電子顕微鏡用電子源の特性
早田康成
表面と真空, 63, 1号, 25-29, 2020
解説・著書
FY2024
真空中の直流沿面放電について
片桐創一
筑波大学 工作ニュース、No.15, pp.8-11 2024
国際会議
FY2024
Improving surface flashover voltages of alumina insulators by applying titanium dioxide coatings
Akio Ogura, Souichi Katagiri, Hiromitsu Nogi, Yuanzhao Yao and Ryu Hasunuma
IEEE Conference on Electrical Insulation and Dielectric Phenomena (CEIDP 2024)(2024/10/6~10/9, Auburn, AL, USA)
FY2023
次世代真空エレクトロニクス研究会, 筑波大学 イノベイティブ計測技術開発研究センター, The 14th International Vacuum Electron Sources Conference (IVESC 2023)(2023/9/25~9/28, Tsukuba, Japan)
Feasibility of Higher Electron Gun Voltage and Higher Electric Field by Suppressing Electron Stimulated Desorption from the Anode
Study on dielectric breakdown in vacuum of TiZrV coated electrode
Relaxation of electric field by covering cathode-edge with vanadate glass
FY2022
FY2019
Low Vacuum Scanning Electron Microscopy for Widegap Semiconductors and Insulating Materials
Takashi Sekiguchi
DRIP XVIII and Processing and Characterization of Crystal, International Conference on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XVIII) (2019/9/8~9/12, Berlin, Germany)
FY2018
Application of inverted fountain detector for downward secondary electron emitted from nanosheets in SEM
Takashi Sekiguchi
IFSM, 19th International Microscopy Congress (IMC19) (2018/9/9~9/14, Sydney, Australia)
国内会議
FY2024
CeB6単結晶表面の熱酸化に伴う化学状態変化
Chemical Changes on the Surface of CeB6 Single Crystal by Thermal Oxidation
鶴田諒平、柳俊輔、荒井元哉、大場 宏祐、佐々木正洋、山田洋一
第85回応用物理学会秋季学術講演会（2024/9/16-20 新潟県朱鷺メッセ）
表面酸化六ホウ化セリウム電界放出電子源の放出電流評価
Evaluation of Emission Current from Surface Oxidized Cerium Hexaboride Field Emitter
柳俊輔、鶴田諒平、荒井元哉、大場宏祐、佐々木正洋、山田洋一
第85回応用物理学会秋季学術講演会（2024/9/16-20 新潟県朱鷺メッセ）
電子線照射により生成したSiO2/Si 界面欠陥分布の評価
Evaluation of Defect Distribution at SiO2/Si Interface Generated by Electron Beam Irradiation
清水崚央、早田康成、蓮沼隆
第85回応用物理学会秋季学術講演会（2024/9/16-20 新潟県朱鷺メッセ）
球面電子源のクーロン効果シミュレーション
Simulation of Coulomb Effect in Spherical Electron Sources
姫田幸毅、 早田康成
第85回応用物理学会秋季学術講演会（2024/9/16-20 新潟県朱鷺メッセ）
走査電子顕微鏡の電子ビームサイズ推定用試料の提案
Proposal of a Sample for Electron Beam Size Estimation in Scanning Electron Microscopy
戸倉大智 、早田康成
第85回応用物理学会秋季学術講演会（2024/9/16-20 新潟県朱鷺メッセ）
帯電抑制に向けた酸化クロムの二次電子イールドと抵抗値の関係
Relationship between surface resistivity and secondary electron emission yield of Cr2O3 for suppressing surface charging
小倉暁雄、片桐創一、野木広光、蓮沼隆
電気学会 放電・プラズマ・パルスパワー/静止器/開閉保護 合同研究会（2024/8/5-6 茨城県ひたちなか商工会議所）
SEM検出器の特性と像情報
Characteristics of various electron detectors in SEM and the image information
関口 隆史
日本顕微鏡学会日本顕微鏡学会第80回学術講演会（2024/6/3-6/5 千葉県幕張メッセ）
MCP検出器により得られた反射電子像の特徴
Characteristics of backscattered electron images taken by MCP detector
栁原悠人、姚遠昭、関口隆史
日本顕微鏡学会日本顕微鏡学会第80回学術講演会（2024/6/3-6/5 千葉県幕張メッセ）
アルミナ球像から見た絶縁体からの二次電子放出の特徴
Characteristics of secondary electron emission from insulators analyzed by Al2O3 sphere image
姚遠昭、園田涼輔、早田康成、関口隆史
日本顕微鏡学会日本顕微鏡学会第80回学術講演会（2024/6/3-6/5 千葉県幕張メッセ）
低真空SE検出器（UVD）のアクセプタンス評価
Characterization of secondary electron detector (UVD) in low vacuum SEM
姚遠昭、園田涼輔、早田康成、関口隆史
日本顕微鏡学会日本顕微鏡学会第80回学術講演会（2024/6/3-6/5 千葉県幕張メッセ）
多元合金多結晶の粒界の反射電子強度異常
Anomalous backscattered electron emission from grain boundaries in multi element alloy
松石晃弥、姚遠昭、高森晋、木村隆、関口隆史
日本顕微鏡学会日本顕微鏡学会第80回学術講演会（2024/6/3-6/5 千葉県幕張メッセ）
3分割噴水型二次電子検出器による六角柱状GaN結晶のSEM観察
SEM observation of GaN hexagonal prism crystal using concentric fountain SE detector
樋口慶、姚遠昭、関口隆史、熊谷和博
日本顕微鏡学会日本顕微鏡学会第80回学術講演会（2024/6/3-6/5 千葉県幕張メッセ）
FY2023
TiO2薄膜コーティングしたアルミナ表面の帯電評価
小倉 暁雄、Yao. Yuanzhao、野木 広光、蓮沼 隆、片桐 創一
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会（2024/3/22-3/25 東京都市大学 世田谷キャンパス）
酸素暴露によるCeB6表面の仕事関数変化
鶴田 諒平、柳 俊輔、荒井 元哉、大場 宏祐、佐々木正洋、山田 洋一
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会（2024/3/22-3/25 東京都市大学 世田谷キャンパス）
熱酸化による六ホウ化セリウム電界放出電子源の安定化
柳 俊輔、鶴田 諒平、荒井 元哉、大場 宏祐、佐々木正洋、山田 洋一
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会（2024/3/22-3/25 東京都市大学 世田谷キャンパス）
金属酸化物薄膜を有したアルミナ表面の帯電評価
小倉暁雄、Yao. Yuanzhao、野木 広光、蓮沼 隆、片桐 創一
令和6年電気学会全国大会（2024/3/14-3/16 徳島大学 常三島キャンパス）
電子線照射によるSiO2/Si界面欠陥生成
“Electron beam induced defect formation at SiO2/Si interface”
清水 崚央、早田 康成、蓮沼 隆
第29回 電子デバイス界面テクノロジー研究会（2024/2/1-2/2 静岡県三島市 東レ総合研修センター）
低真空SE検出器（UVD）のアクセプタンス評価ーUVDとET検出器の違い
姚 遠昭, 園田 涼輔, 早田 康成, 関口 隆史
日本顕微鏡学会SEMの物理学分科会討論会（2023/12/10-12/11 福井県あわら市）
SEMにおける斜出射二次電子・反射電子検出の特徴
関口 隆史, 園田 涼輔, 姚 遠昭, 早田 康成
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第79回学術講演会 (2023/6/26-6/28 島根県松江市 くにびきメッセ)
暗視野STEM法によるコリネ菌中のFe分布の観察
小嶋俊平、早田康成、川島花雪、長久保敏則、豊福正則、野村暢彦、関口隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第79回学術講演会 (2023/6/26-6/28 島根県松江市 くにびきメッセ)
3分割噴水型二次電子検出器によるSiC表面の段差構造評価
小川創馬, 関口 隆史, 熊谷和博
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第79回学術講演会 (2023/6/26-6/28 島根県松江市 くにびきメッセ)
低真空SEMが拓く顕微鏡の世界
関口隆史
日本表面真空学会, 日本表面真空学会真空技術部会6月研究例会 (2023/6/7 東京都港区 機械振興会館)
線形代数とSEMー電子検出器のアクセプタンスについて
関口隆史
表面分析研究会, 第60回表面分析研究会 (2023/6/29-6/30 株式会社島津製作所 殿町事業所)
FY2022
TiN膜付アルミナ碍子の耐電圧特性の向上に関する研究
角谷 凌太郎, 小倉 暁雄, 野木 広光, 姚 遠昭, 片桐 創一
応用物理学会, 応用物理学会第７０回春季学術講演会 (2023/3/15-3/18 上智大学 四谷キャンパス)
電子線照射によるデバイスダメージの評価
清水凛太郎, 清水 崚央, 蓮沼 隆
応用物理学会 薄膜・表面物理分科会およびシリコンテクノロジー分科会共催, 電子デバイス界面テクノロジー研究会 (2023/2/3-2/4 東レ総合研修センター)
CeB6単結晶表面の電子状態評価
鶴田 諒平，佐々木正洋，山田 洋一
応用物理学会, 第83回応用物理学会秋季学術講演会 (2022/9/20-9/23 東北大学 川内北キャンパス)
金属球を使ったアウトレンズ検出器の特性評価
園田 涼輔, 三谷 亮太, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第７８回学術講演会 (2022/5/11~/5/13 ビッグパレットふくしま)
低真空SEMを使った液体の観察
源入 健太, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第７８回学術講演会 (2022/5/11~/5/13 ビッグパレットふくしま)
チタニアナノシートを使った生体SEM観察のための簡易コーティング法
友寄 大地, 佐々木 高義, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第７８回学術講演会 (2022/5/11~/5/13 ビッグパレットふくしま)
SEMを使った明視野・暗視野STEM法によるコリネ菌の観察
関口 隆史, 鈴木 千紘, 早田 康成, 川島 花雪, 永久保 利紀, 豊福 雅典, 野村 暢彦
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第７８回学術講演会 (2022/5/11~5/13 ビッグパレットふくしま)
FY2021
アモルファス炭素被覆による球面電子源の開発
鶴田 諒平, 日向 雄介, 古澤 怜也, 佐々木 正洋, 松永 宗一郎, 山田 洋一
応用物理学会, 応用物理学会第82回秋季学術講演会 (2021/9/10-9/13 オンライン)
各種検出器による枯草菌の観察
鈴木 千紘, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第77回学術講演会 (2021/6/14-6/16 つくば国際会議場)
試料帯電が反射電子像に与える影響の評価－ハレーション
園田 涼輔, 早田 康成, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第77回学術講演会 (2021/6/14-6/16 つくば国際会議場)
走査電子顕微鏡における帯電現象と二次電子放出の関係
田上 就也, 早田 康成, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第77回学術講演会 (2021/6/14-6/16 つくば国際会議場)
低真空SEMによるミセルの観察
源入 健太, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第77回学術講演会 (2021/6/14-6/16 つくば国際会議場)
FY2020
低真空SEM観察における雰囲気依存性の定量的評価
田上 就也, 関口 隆史
顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会 第76回学術講演会 (2020/5/25-5/27 大阪国際交流センター)
走査電子顕微鏡における帯電現象と二次電子放出の関係
田上 就也, 早田 康成, 関口 隆史
日本顕微鏡学会, SEMの物理学分科会研究会 (2020/11/13 オンライン)
陽極へのNEG コーティングによる真空放電抑制の検証実験
多田涼馬, 片桐創一, 伊藤雅英, 山本将博, 山納康, 谷本育律, 宮島司, 東直, 金秀光, 内山隆司
日本表面真空学会, 2020年日本表面真空学会学術講演会 (2020/11/19-11/21 オンライン)
FY2019
低真空SEMの雰囲気依存性
関口 隆史
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会 第75回学術講演会 (2019/6/17-6/19 名古屋国際会議場)
走査電子顕微鏡用電子源
早田 康成, 大南 祐介
表面真空の研究会, 日本表面真空学会 6 月研究例会 (2019/6/25 東北大学多元物質科学研究所)
FY2018
倒立型噴水検出器の改良とナノシートの低エネルギー透過電子評価
関口 隆史, 揚村 寿英, 姚 遠昭
日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会 第74回学術講演会 (2018/5/29-5/31 久留米シティプラザ)