RESEARCH
SEMの性能向上や新たなアプリケーションの創出 電子銃や信号検出器などのSEMの基盤技術の開発
SEMの基盤技術について、より難易度の高い技術課題に取り組むことで、高分解能・高精度・高スルートップを実現する技術開発を目指します。産学連携のオープンイノベーションで得た研究成果を製品改良に生かし、IoTなどの社会インフラ、新材料の実用化、病理診断、創薬など幅広い分野を支える新たなSEMおよびSEMの応用製品の開発に取り組んでいきます。
特別事業の初年度に設置された日立ハイテク製TM4000Plusは、初心者でも簡単に操作できる卓上サイズの走査電子顕微鏡（SEM)です。低真空状態での操作が標準であり、これまで電子顕微鏡観察が難しかった有機物や生体試料なども観察できます。学生実験はもちろん、材料をはじめとした多様な研究のために活躍しています。
2020年に設置された超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU7000は、日立ハイテク製の高性能、高分解能の走査電子顕微鏡（SEM)です。 複数の二次電子信号・反射電子信号が同時取得できる電子光学系/検出系により、広視野全体像から表面微細構造までの多様な信号を迅速に取得し、多チャンネルの信号同時表示/保存が可能です。 また、組成分析としてEDX、構造解析としてEBSD装置を装備しており、材料の高度な分析ができます。
プロジェクト研究棟103~104に設置されたTM4000とSU7000は、オープンファシリティ装置（イノベイティブ計測技術開発研究センター共同利用機器）として様々な分野の研究室の利用が行われています。
TM4000画像
SU7000画像
EBSD画像
SEMを使って材料評価に取り組む