2019年度応用物理特論「走査電子顕微鏡を使った計測技術の開発、電子光学や電子ビームと物質の相互作用の研究」

日 時:10月1日(火)10:10~11:25
場所: 3A203

応用理特論(FF22001)において、走査電子顕微鏡研究室(関口・早田研究室)の研究内容について講義を行いました。
・走査電子顕微鏡(SEM)の基礎と応用。
・電子と物質の相互作用や二次電子、反射電子の物理の研究を行い、電子ビームによる新たな計測技術を開拓する。
・電子光学系や電子ビーム計測の研究を行い、SEMの高度化や新システムの提案を進める。