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オムニバス講座「現代物理と先端工学」

日 時:10月5日(火)10:10~11:25

場所: 3A203

走査電子顕微鏡研究室(関口・早田研究室)の研究内容について講義を行いました。

・走査電子顕微鏡(SEM)の基礎と応用
・電子と物質の相互作用や二次電子、反射電子の物理の研究

・電子ビームによる新たな計測技術の開拓
・電子光学系や電子ビーム計測の研究とSEMの高度化や新システムの提案