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2024年度応用物理特論「走査電子顕微鏡を使った計測技術の開発、電子光学や電子ビームと物質の相互作用の研究」

日 時:10月15日(火)10:10〜11:25
場所: 3A306

応用物理特論において、走査電子顕微鏡研究室(関口早田研究室)の研究内容について、ヤオ助教と小倉助教が講義を行いました。

  • 走査電子顕微鏡(SEM)の基礎と応用。
  • 電子と物質の相互作用や二次電子、反射電子の物理の研究を行い、電子ビームによる新たな計測技術を開拓する。
  • 電子光学系や電子ビーム計測の研究を行い、SEMの高度化や新システムの提案を進める。

 関口早田研究室