第15回アドバンストSEMセミナー「3次元アトムプローブ（3DAP）を用いたナノ組織解析と3DAP分析用試料作製技術の高品質化」
＜第15回アドバンストSEMセミナー＞
日時：１２月１８日（水）15時〜16時(質疑応答含)
場所：筑波大学総合研究棟B204室（予定）+Teams（ハイブリッド開催）
講師：国立研究開発法人 物質・材料研究機構 電子顕微鏡ユニット 主幹エンジニア 埋橋 淳 氏
題目：３次元アトムプローブ（3DAP）を用いたナノ組織解析と 3DAP分析用試料作製技術の高品質化
材料・デバイスの研究開発において、その特性・機能性発現メカニズムを理解し、特性向上の指針を得るという目的から、各種分析手法による微細組織構造解析は必要不可欠な位置を占めている。解析手法は分析目的に応じて多岐に渡る。研究開発の現場で広く普及している走査型電子顕微鏡（scanning electron microscopy; SEM）や透過型電子顕微鏡（transmission electron microscopy; TEM）と対比させつつ、ユニークな性能を有する3次元アトムプローブ（three-dimensional atom probe; 3DAP、または「atom probe tomography」を略して「APT」と呼称されることも多い）法について、原理から発展の歴史、さらに集束イオンビーム（focused ion beam; FIB）を用いた試料作製技術の確立などを紹介する。
3DAPは軽元素を含む全ての元素について個々の原子の同定と位置決定ができるユニークな分析装置で、さまざまな材料やデバイス中の元素分布の3次元解析に威力を発揮するが、レーザーパルス補助型3DAPの登場により、その応用範囲は半導体、絶縁体材料へと劇的な拡大をこの20年程度で遂げてきた。本セミナーではTEMと3DAPを相補的に用いた実材料・デバイスの分析事例に加えて、FIB-SEM複合装置による分析用試料作製技術の高品質化について議論する。
アドバンストSEMセミナーは、日立ハイテクアドバンストSEMテクノロジ特別共同研究事業がイノベイティブ計測技術開発研究センターと共催で開催する計測技術関連のセミナーです。
第１５回セミナーは、物質・材料研究機構 電子顕微鏡ユニット 主幹エンジニア 埋橋 淳 氏による３次元アトムプローブを用いた研究成果についての講演です。
聴講ご希望の方は第1５回アドバンストSEMセミナーの参加申込フォームよりお申込み下さい。
登録のメールアドレスに、Teamsリンクをお送りします。
参加申込締切：１２月１６日（月）
