第12回アドバンストSEMセミナー 「フェムト秒レーザーを用いたSTMおよびSEMの超高速イメージング」
<第12回アドバンストSEMセミナー>
日時:1月24日(水)14時~15時(質疑応答含)
場所:総合研究棟B204室+Teams(ハイブリッド開催)
講師:筑波大学数理物質系 助教 嵐田雄介(重川・武内・吉田・嵐田・茂木研究室/嵐田グループ)
題目:「フェムト秒レーザーを用いたSTMおよびSEMの超高速イメージング」 講演概要
レーザー技術の進展によりフェムト秒(10^-15秒)の時間スケールの間だけ高い強度を持つ光パルスを得ることが比較的容易になってきた。これまで基底状態の物性を観察することに使われてきた種々の基礎分析法にこのフェムト秒レーザー技術を組み合わせることで励起状態の動的な特性を得ることが可能となってきており、非平衡物質科学のより大きな進展が期待されている。
本講演では、筑波大学において開発を行なってきた2つの計測装置について紹介する。1つ目は走査トンネル顕微鏡法(STM)である。1周期以下の中赤外レーザーパルスの”電場”によってトンネル電子を駆動することで29フェムト秒の時間分解能および原子スケールの空間分解能でのイメージング測定を達成した。これによって電子散乱よりも速い時間領域において原子1つ1つを区別して電子状態を可視化することが可能となった。2つ目は走査電子顕微鏡(SEM)である。紫外線パルスを用いた光電効果によりパルス状の1次電子を生じさせることで2次電子像の超高速変化の可視化に成功した。これによって電子デバイスをキャリアダイナミクスのような素過程から電気回路の過渡的な応答を連続的かつ視覚的に理解することが可能となっている。
これらの技術を用いた応用や今後の展開について詳細に説明する。
アドバンストSEMセミナーは、日立ハイテクアドバンストSEMテクノロジ特別共同研究事業がイノベイティブ計測技術開発研究センターと共催で開催する計測技術関連のセミナーです。
第12回セミナーは、筑波大学数理物質系 助教 嵐田雄介によるフェムト秒レーザー技術を利用した計測装置開発についての講演です。
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参加申込締切:1月19日(金)
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