２０１９年度第２回数理物質科学コロキュウム
課 題：走査電子顕微鏡の世界
講 師： 関 口 隆 史 ・ 早 田 康 成
（電子・物理工学専攻）
日 時：４月１８日（木）16：45～18：00（６時限）
場 所：１Ｈ２０１
【講演要旨】
形態観察は、実験の第一段階として必須の作業である。ナノの研究が盛んになり、サブ
ミクロンの材料を観察する必要が生じたため、走査電子顕微鏡（SEM）は、光学顕微鏡（OM）の代替としての役割を果たすようになる。ただ、SEM とOM の原理はまったく違うと言ってよい。SEM を例えればTV システムであり、nm オーダーに絞った電子ビームを試料上で走査し、出力された二次電子（SE）や反射電子（BSE）を使って画面上に像を作る。
これらの信号は、試料の凹凸や組成、導電性によって変化するため、SEM 観察では形状だけでなく、組成分析などもできる。また、観察対象も金属、半導体、セラミックスといった無機材料から、高分子、生体組織など多岐にわたる。
本講演では、SEM を用いたさまざまな観察例を紹介するとともに、我々が取り組んでいるSEM を使った最先端の半導体研究を紹介する。