第20回アドバンストSEMセミナー 「電子源設計の方法論(名城大学との共同研究から)」
日時:12月16日(水)14:00~15:00 (質疑応答含)
場所:総合研究棟B 204 +Teams(ハイブリッド開催)※講演者は対面にて講演予定
題目:電子源設計の方法論(名城大学との共同研究から)
講演者:太秦電子光学研究所 藤田真先生
本講演では、電子源設計のふたつの方法論について述べる。
方法論1では、電子源特性を光学パラメータで記述することを提案する。レンズ理論でお馴染みの少数の光学パラメータで電子源の特徴が簡潔に把握できることを示す。
次に方法論2では、Remolding法を用いた陰極チップ形状のコントロールにより電子源特性を変える方法について述べる。ショットキーエミッターの角電流密度を上げる試み、ナノチップによる超微小電子源実現の可能性について紹介する。
アドバンストSEMセミナーは、日立ハイテクアドバンストSEMテクノロジ特別共同研究事業がイノベイティブ計測技術開発研究センターと共催で開催する計測技術関連のセミナーです。
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参加申込締切:12月10日(木)





