場所： ３A２０３

走査電子顕微鏡研究室（関口・早田研究室）の研究内容について講義を行いました。

・走査電子顕微鏡（SEM）の基礎と応用
・電子と物質の相互作用や二次電子、反射電子の物理の研究

・電子ビームによる新たな計測技術の開拓
・電子光学系や電子ビーム計測の研究とSEMの高度化や新システムの提案