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第13回アドバンストSEMセミナー 「原子間力顕微鏡によるナノ構造の寸法・形状計測 ―SEMによる寸法・形状計測の信頼性向上に向けた取り組み―」

<第13回アドバンストSEMセミナー>

日時:4月24日(水)15時~16時(質疑応答含)

場所:総合研究棟B204室+Teams(ハイブリッド開催)

講師:国立研究開発法人 産業技術総合研究所
計量標準総合センター 物質計測標準研究部門
ナノ構造計測標準研究グループ 主任研究員 木津良祐氏

 

題目:原子間力顕微鏡によるナノ構造の寸法・形状計測 ―SEMによる寸法・形状計測の信頼性向上に向けた取り組み―

 半導体等のナノ構造の寸法・形状計測には、走査電子顕微鏡(SEM)や原子間力顕微鏡(AFM)などが用いられる。本講演では、寸法・形状計測を正確に(すなわち、長さのSI定義に基づいて)行うことを目的として、産総研において開発を行ってきた測長AFM技術、および、一次元グレーティングピッチ等のナノ構造の校正技術について紹介する。また、その応用技術として、傾斜探針機構を備えた測長AFM技術によるレジストパターン側壁のラフネス計測技術を紹介する。本技術により、半導体デバイス開発の過程における計測課題となっていたレジストパターンのSEM観察に伴う収縮変形の影響を、直接的・定量的に評価することが可能となった。

アドバンストSEMセミナーは、日立ハイテクアドバンストSEMテクノロジ特別共同研究事業がイノベイティブ計測技術開発研究センターと共催で開催する計測技術関連のセミナーです。
第13回セミナーは、産業技術総合研究所 主任研究員 木津良祐氏によるSEMを中心とした各種顕微鏡の信頼性向上に向けた研究開発についての講演です。


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参加申込締切:4月18日(木)→受付は終了しました。

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※第13回アドバンストSEMセミナーへのご参加ありがとうございました。