日立ハイテクと筑波大学の「日立ハイテクアドバンストSEMテクノロジ特別共同研究事業*」は、現在教授8名、准教授4 名、助教4名、主幹研究員1 名、研究員3 名、学⽣23 名体制で研究を遂行しています。大学の基盤研究で深堀したサイエンスを広く共有し、さらなる研究開発を推進すべく報告会を開催しました。

日時：１０月２４日（金）１３：００〜１７：００

会場：株式会社 日立ハイテク那珂地区マリンサイト（茨城県ひたちなか市新光町）

内容：共同研究成果報告、ポスター発表、交流会

＜プログラム＞

1. 
13:30-13:35　開会の挨拶
2. 13:35-13:40　特別共同研究事業の体制・概要説明　伊藤雅英
3. 13:40-13:55　 SEM画像予測に向けた一次ビーム制御に関する研究　早田康成
4. 13:55-14:10　 SEMの電子検出器開発と材料評価への応用　関口隆史
5. 14:10-14:25　絶縁・耐電圧と真空に関する研究　片桐創一
6. 14:25-14:40　電子源表面研究の方針と体制　山田洋一
7. 14:40-14:45 講評

ポスター発表　各研究担当

交流会