2025年度 理工学群応用理工学類の選択科目「計測実験学」において、7月21日・28日の2回にわたって「電子ビーム計測」の講義を行いました。計測実験学は応用理工の学類生120人余が受講している講義です。

第1回は像観察で、TEM、SEMの画像について学びました。特に実像のフーリエ変換で回折図形が得られ、回折図形の逆フーリエ変換で実像が得られることをImage Jを使って実演しました。第2回は分光計則で、電顕を使ったX線計測、Auger電子分光、カソードルミネッセンス/EBICについて学びました。