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2025年度応用物理特論「走査電子顕微鏡を使用した計測技術の開発」

日 時:11月5日(火)10:10〜11:25
場所: 3A306

応用理工学類3年生向けに、走査電子顕微鏡研究室(関口早田研究室)の研究内容について、早田教授と小倉特任助教が講義を行いました。

  • 走査電子顕微鏡(SEM)の仕組みと特性
  • 電子と物質の相互作用や二次電子、反射電子の物理の研究
  • 電子ビームによる新たな計測技術の開拓
  • 電子光学系や電子ビーム計測の研究
  • SEMの高度化や新システムの提案

関口早田研究室